電子顯微鏡是一種科學(xué)儀器，用高能電子束以非常精細(xì)的尺度研究物體。在掃描電子顯微鏡（SEM）中，一個(gè)高能量的集中的電子束被用來代替光來形成圖像。以此可獲得形貌信息（物體的表面特征）、形態(tài)信息（構(gòu)成物體的粒子的形狀和大小）、構(gòu)成信息（組成物體的元素和化合物以及它們的量）和晶體信息（原子在物體中的排列）。

今天，小編來介紹一下電子顯微鏡的缺點(diǎn)：

1.在電子顯微鏡中樣本必須在真空中觀察，因此無法觀察活樣本，隨著技術(shù)的進(jìn)步，環(huán)境掃描電鏡將逐漸實(shí)現(xiàn)直接對(duì)活樣本的觀察；

2.在處理樣本時(shí)可能會(huì)產(chǎn)生樣本本來沒有的結(jié)構(gòu)，這加劇了此后分析圖像的難度；

3.由于電子散射能力極強(qiáng)，容易發(fā)生二次衍射等；

4.由于為三維物體的二維平面投影像，有時(shí)像不唯一；

5.由于透射電子顯微鏡只能觀察非常薄的樣本，而有可能物質(zhì)表面的結(jié)構(gòu)與物質(zhì)內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不同；

6.超薄樣品（100納米以下），制樣過程復(fù)雜、困難，制樣有損傷；

7.電子束可能通過碰撞和加熱破壞樣本；

8.此外電子顯微鏡購買和維護(hù)的價(jià)格都比較高。